广东厌氧烤箱的工艺要求介绍，快来收藏！

　　广东厌氧烤箱用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研生产单位，主要用于BPO  /PI  /BCB胶的固化，IC(晶圆、CMOS、凸点、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元器件、电子陶瓷材料的无尘干燥，以及电器产品、材料、元器件的无尘干燥。

　　广东厌氧烤箱箱体采用全陶瓷纤维保温，具有升温快、节能的特点，优良的送排风系统保证了烤箱箱内温度的均匀，吸入式玻璃纤维过滤器保证了洁净度要求。它服务于主要的研究所、军事工业、地方重点大学等等，充氨无氧烤箱通过充入惰性气体(N2CO2)将烤箱的氧气排出，从而防止高温下烘烤过程中的氧化现象，这就对充氢烤箱的结构提出了特殊的要求，尤其是密封性能和控制系统。

　　广东厌氧烤箱与普通烤箱的结构区别在于，厌氧烤箱会将内箱完全焊接，同时进行密封，使充入的惰性气体不会泄漏，同时保证内部的无氧环境。但是，普通烤箱即使全焊，也不需要密封；厌氧烤箱与普通烤箱在控制系统上的区别在于，厌氧烤箱需要增加氨气控制系统，同时需要具备延时加热功能，也就是说在加热前延时充氨，以保证加热时烤箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。

　　广东厌氧烤箱的应用包括半导体芯片加工，随着频率和速度的提高，如微电子加工领域和高速通信领域，对芯片尺寸、寄生参数、绝缘等的要求越来越高，需要一种能满足新型芯片产品加工要求的材料，然而，BCB(苯并环丁烯)是满足各种要求的良好材料，并且光敏光刻胶具有低介电常数的特点，然而，BCB胶的固化过程尤为重要，那么广东厌氧烤箱的工艺要求是什么呢？下面由小编来为你解答。

　　1.在外延片表面涂覆光敏BCB胶，通过光刻在外延片表面形成光敏BCB胶图形；

　　2.用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶；

　　3.将刻蚀后的外延片置于真空无氧烤箱中，通入N2真空置换，采用多次升温保温方式，在规定时间内从室温升至头一温度阶段，保温1-2h，然后在规定时间内从头一温度阶段升至第二温度阶段，保温一定时间；

　　4.然后增加辅助冷却系统(水冷、风冷)，将退火炉温度降至80度左右，完成固化。

　　广东厌氧烤箱​是一种提供高温、低氧和洁净环境的特殊工艺设备。烤箱内部采用不锈钢材质，全部采用无尘材料。烤箱可以充氮气和抽真空，使烤箱工作室处于低氧洁净状态。工作室内的温度由温控器自动控制，有自动恒温和时间控制装置，可快速升温、恒温和降温，设有超温断路加热、含氧量检测、辅助冷却装置和报警电路，使用安全。真空无氧烤箱采用干PI胶、BCB胶固化、粘接材料预处理、ITO膜退火、PR出胶固化等特殊工艺。适用于干式电子液晶显示器、LCD、CMOS、ic、PCB、半导体封装、医药、实验室等生产和科研部门。